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產(chǎn)品中心

Product Center

混合配比氣體流量計(jì)控制器

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

混合配比氣體流量計(jì)控制器屬于一種工業(yè)自動(dòng)化儀表, D07系列MFC/MFM為模擬量程,具有不因溫度和壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)、重復(fù)性好、自動(dòng)測(cè)量控制、工作壓力范圍寬等特點(diǎn)。自1979年研制出測(cè)量控制氣體流量的D07-1模擬控制的流量測(cè)控產(chǎn)品,我們不斷優(yōu)化D07系列的性能,滿足不同客戶應(yīng)用需求。產(chǎn)品種類50余種,涵蓋普通型,大量程型,高精度型,快響應(yīng)型,耐壓型,金屬密封型等多種類型的

產(chǎn)品型號(hào):KT
更新時(shí)間:2024-03-29
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1529
詳細(xì)介紹在線留言
品牌鄭科探價(jià)格區(qū)間面議
產(chǎn)品種類質(zhì)量式介質(zhì)分類氣體
產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域電子

    混合配比氣體流量計(jì)控制器可以應(yīng)用到對(duì)各種氣體進(jìn)行測(cè)量和控制,除測(cè)量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量,質(zhì)量流量計(jì)(MFM)可以精密測(cè)量氣體的質(zhì)量流量。D07-19產(chǎn)品是七星流量計(jì)研發(fā)精度高、響應(yīng)時(shí)間快的模擬產(chǎn)品。

 

特點(diǎn)

• 高精度,快響應(yīng)型
• 橡膠密封、模擬電路的MFC
• 采用DB15型電插頭,標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接頭
• 兼容

 

 

 混合配比氣體流量計(jì)控制器此設(shè)備根據(jù)客戶需求搭建     可要求標(biāo)準(zhǔn)氣體  量程  進(jìn)氣口和出氣口    多通道氣體混合配比    詢價(jià)店內(nèi)客服報(bào)價(jià)

 

     氣體配比器主要用于氣體流量測(cè)試,并按比例混合氣體,為真空管式爐或手套箱營(yíng)造特定要求的氣氛環(huán)境控制方式采用集成化模塊控制 功能延伸性強(qiáng) 根據(jù)客戶要求隨意添加

    該氣體配比器可以外接3或多種氣體,采用質(zhì)子型流量計(jì),氣路管道采用316拋光管制作耐腐蝕性強(qiáng).氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連接且不易泄漏.

 

1.半導(dǎo)體制造行業(yè)中氣體流量控制

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技術(shù)參數(shù)

項(xiàng)目

D07-19B

D07-19BM

D07-19F

D07-19FM 型

流量規(guī)格

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM

0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

0~1,2,3,5,10,20,30 SLM

準(zhǔn)確度

±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)

±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)

±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)

±1% F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)

線性

±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)

±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)

±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)

±0.5% F.S. (20,30SLM: ±2% F.S.)

重復(fù)精度

±0.2 % F.S.

±0.2 % F.S.

±0.2 % F.S.

±0.2 % F.S.

響應(yīng)時(shí)間

≤2 sec

≤2sec

≤4 sec

≤4 sec

工作壓差范圍

≤10SLM: 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid)
>10SLM: 0.1~ 0.3 MPa (14.5~43.5 psid)

-

≤10SLM: 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid)
>10SLM: 0.1~ 0.3 MPa (14.5~43.5 psid)

-

氣壓降

-

<0.02 MPa (2.9 psid)

-

<0.02 MPa (2.9 psid)

大工作壓力

1 MPa

1 MPa

1 MPa

1 MPa

耐壓

3 MPa (435.1 psig)

10 MPa (1450.4 psig)

3 MPa (435.1 psig)

10 MPa (1450.4 psig)

工作環(huán)境溫度

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

輸入輸出信號(hào)

0 V ~ +5.00 V
(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)

0 V ~ +5.00 V
(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)

4~20 mA 或 1~5 VDC

4~20 mA 或 1~5 VDC

電源

+15 V  50 mA 
-15V  200 mA

+15 V  50 mA
-15 V  50 mA

24 VDC  100 mA

24 VDC  100 mA

重量

0.95 kg

0.7 kg

1.2 kg

1 Kg

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